검사체 고유의 특성 X선을 반도체검출기로 분석하는 방법으로 검사체에 방사선을 투과시키면 원자가 에너지를 흡수하면서 기저상태에서 여기상태로 들뜨게 되고,
다시 기저상태로 되돌아 올 때 원자 고유의 특성 X선을 방출한다. 이 원리를 이용하여 검사체의 성분이나 함유량을 검사한다.
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Certified Reference Material
Values listed in wt.% with estimated uncertaintiesAI
0.0134±0.0005
As
0.0047±0.0002
B
0.0003±0.0001
Ca
0.0010±0.0001
Co
0.0089±0.0002
Cr
1.086±0.001
Cu
0.174±0.001
Fe*
97.22±0.01
Mn
0.331±0.001
Mo
0.478±0.002
Nb
0.0017±0.0001
Ni
0.125±0.001
P
0.0063±0.0001
Pb
0.0022±0.0001
S
0.0038±0.0005
Sb
0.0025±0.0001
Si
0.559±0.004
Sn
0.0087±0.0001
Ta
0.0012±0.0001
Ti
0.0019±0.0001
V
0.0056±0.0001
W
0.0035±0.0001